承湘科技CXsemi 推出全新客製化半導體光學檢測設備 成功與美國知名通訊晶片大廠簽約合作

歷經2020全球疫情衝擊之後,台灣「科技島」的地位愈發被各國重視,除了護國神山台積電,上、下游產業的優秀廠商也因亮眼表現受到國際矚目。承湘科技CXsemi與光學檢測技術獨步全球的工研院,共同合作開發的全新客製化半導體光學檢測設備,以三維光學取像方式,搭配特殊演算法,大幅提升量測精準度、重複性及量測速度,突破性的成就加上能提供客製化設計與專用檢測設備,獲美國知名通訊晶片大廠青睞並正式簽約合作。值得一提的是,由於該廠為美國大廠設在新加坡的工廠,此一合作案無疑讓台灣政府積極推動的新南向政策成果再添一筆。

每年台灣半導體展覽都會吸引工程師們的注意,詢問承湘科技最新技術產品
每年台灣半導體展覽都會吸引工程師們的注意,詢問承湘科技最新技術產品

創新服務體驗工程法 台、美、中等地知名大廠都青睞

承湘科技 CXsemi以「科技服務」的型態,將「專業技術」與「服務精神」結合,站在客戶的立場,同理心提供客製化專業設計。承湘科技表示:「隨著科技的進步,生產製造從材料到製程都愈發艱深複雜,傳統供應鏈型態已無法滿足客戶需求,全新服務體驗工程方法提供客製化設計,才能有效且即時地給予客戶適宜的解決方案。」

除了服務方式更符合客戶需求,技術的突破也是承湘科技能在國際競爭中脫穎而出的重要原因。承湘科技與美國知名通訊晶片大廠簽約合作CD Overlay客製化半導體光學檢測設備,並與工研院合作,因應金屬或非金屬類的材料,以三維取像方式,搭配特殊演算法,克服製程圖案不易界定邊界的檢測挑戰。並可直接量測in-chip複雜的圖案,更能精準掌控生產良率。承湘科技除了與美國知名通訊晶片大廠合作之外,也已與多家台灣、大陸等地的大廠合作。

承湘科技當年投入這項新技術開發,起因於發現台灣發展化合物半導體、LED,也就是所謂第三代半導體的業者有設備上的急迫需求,承湘科技指出:「因為歐、美、日設備廠商認為2到6吋的小尺吋晶圓是小眾市場,所以未致力發展相關設備。」在這種情況下,第三代半導體業者大多只能在二手市場找矽晶圓淘汰下來的設備進行改裝,工程師即便絞盡腦汁,效能還是不好。承湘科技認為,科技產業發展是無法忽略第三代半導體的價值與重要,因此投入人力展開長達將近兩年的研究,才終於有了突破性成果。

機器視覺在半導體的新應用,解決工程師無法在惡劣的環境,或是超出人體極限的條件下,還可以持續穩定地收集機器生產過程中重要的關鍵參數
機器視覺在半導體的新應用,解決工程師無法在惡劣的環境,或是超出人體極限的條件下,還可以持續穩定地收集機器生產過程中重要的關鍵參數

獨創新技術 精準檢測 提升良率

提高產品良率是高科技產業勝出的關鍵,要達到此一目標,就必須提升量測的精準度。不斷升級的製程目標下,傳統以二手設備「充數」、或是手動以顯微鏡、放大鏡檢測,不僅會有老舊機台維護成本高、待料時間長的問題,檢測穩定度也較低。

承湘科技 CXsemi全新的CD Overlay客製化半導體光學檢測設備,改變過去二維光學檢測的盲點,能有效監控各個製程關鍵參數,Overlay疊對量測、三維關鍵尺寸量測,以及整合三維功能來量測階高及表面粗糙度。對於不適用市售量產型設備、或無法以二手機台因應的晶圓工廠終端客戶,承湘科技的量測設備無疑是更好的選擇。

不僅如此,當晶片大廠進行新製程或推出新產品,承湘科技 CXsemi的半導體光學檢測設備也能幫助製程穩定。以這次合作的美國通訊晶片大廠為例,該大廠原本因為新一代通訊晶片製程研發不穩定,無法透過有效的檢測取得關鍵參數,造成時程拖延,在與承湘科技合作之後,靠著全新客製化的光學檢測設備所提供的檢測,協助工廠縮短了晶片設計研發時程、快速導入量產階段,並在製程品質上得以完善監控,快速收斂、提升穩定性,最後如期上市發表與接單,讓該晶片大廠獲益極大。

除了CD Overlay之外,承湘科技的膜厚儀、晶圓形貌輪廓儀等設備,也都能在產線發揮有效監控各個製程關鍵參數的功能,可測得晶圓的翹曲、應力、階高、TSV、TTV等參數,或是挑出晶圓表面異常凸點,避免探針卡的製程發生跪針的問題,再搭配AI技術提高缺陷的分辨率,有效掌控製程中的變數,找出量測程序的痛點,方能提升產品良率。

CD Overlay 疊對量測,三維關鍵尺寸量測,不僅可用於化合物半導體,連矽晶圓廠前、後段生產線也適用
CD Overlay 疊對量測,三維關鍵尺寸量測,不僅可用於化合物半導體,連矽晶圓廠前、後段生產線也適用

面對國際競爭扎根做研發 客製化精準服務殺出血路

半導體為高技術門檻的科技產業,國際競爭十分激烈,台灣本土廠商要突破重圍找到自己的舞台並不容易,承湘科技認為:「核心技術始終是科技產業的勝出關鍵,因此研發的量能必須充足且持續發展。」承湘科技積極與工研院、台大、清大、彰師大、聯合大學合作之餘,也聯繫產、學、研、終端客戶工廠多方攜手合作。在政府政策的支持下,台灣科技產業不需要單打獨鬥,能夠很快組成實力堅強的國家代表隊,在國際上發揮舉足輕重的影響力。

值得一提的是,因為終端客戶的支持與參與,提供實際的製造生產場域,讓這套全新光學檢測設備的開發與製程密切結合,經實際體驗開發出來的檢測設備,不會有過去被詬病的「閉門造車」問題,成果貼近客戶實際需求,加快了設備開發的時程與精準性。

打破品牌迷思 國際大廠簽約合作

承湘科技強調,很多關鍵技術,台灣現在不做,掌握權將來就操控在別人手裡。承湘科技期待能以先進的量測技術設備,幫助台灣科技產業往更好的未來發展,不只國內市場,更要展望大陸、美國、歐洲,甚至配合政府推動的新南向計畫,爭取更多的合作發展機會。

除了半導體光學檢測設備,承湘科技CXsemi的「智能機器視覺系統」亦是半導體檢測設備的先驅,透過先進光學原理,有效協助工廠客戶蒐集生產製程影像數據資料,藉由視覺辨識軟體,分析處理生產過程中的疑難雜症。「智能機器視覺系統」能避免工程師處於高風險場域工作的危險,同時,比起工程師憑藉經驗或肉眼觀察的有限,「智能機器視覺系統」檢測效果倍加精良,大大降低生產損失風險、提高生產製造的效能,這項技術在國際多家晶圓廠已有安裝實績,並有實際的績效成果,承湘科技期待這些全新技術也能在國內晶圓廠發揮助益,成為國內半導體產業有效量測、掌控良率的最大後盾。

承湘科技積極與產、學、研界夥伴共同合作
承湘科技積極與產、學、研界夥伴共同合作

承湘科技
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