公平會通過ASML收購案 有利台灣半導體製程發展

（中央社記者張建中新竹28日電）公平會今天通過艾司摩爾（ASML）收購德商BG案，半導體業者表示，艾司摩爾收購BG後，有助微影設備開發，將對台灣半導體製程技術以及全球半導體產業發展有所助益。

德商BERLINER GLAS KGaA Herbert Kubatz GmbH& Co.（BG）是一家陶瓷及光學模組製造商，與艾司摩爾合作多年。

為實現極紫外光（EUV）及深紫外光（DUV）未來產品發展藍圖，艾司摩爾今年中決定收購BG，一旦獲得所有監管機關批准後，預計今年底前完成。公平會今天通過這項收購案。

半導體業者指出，艾司摩爾是全球半導體微影設備領導廠商，其提供的EUV系統，已獲晶圓代工龍頭廠台積電導入強效版7奈米製程量產，台積電還持續於6奈米、5奈米及3奈米採用EUV技術。

荷蘭媒體日前報導，三星電子副會長李在鎔10月曾拜訪艾司摩爾，爭取提前出貨EUV設備，顯見艾司摩爾微影設備在半導體業占有舉足輕重的關鍵地位。

業者表示，艾司摩爾若能順利完成收購BG，將有助DUV及EUV微影設備開發，連帶推動台灣及世界半導體業發展。（編輯：林淑媛）1091028