台日半導體技術交流 日設備廠TEL台南營運中心啟用

（中央社記者張建中新竹3日電）台日半導體合作邁向新里程碑，日本半導體設備龍頭廠TEL積極在台布局，台灣子公司東京威力科創總裁張天豪看好台日半導體互補效益，台南營運中心今天啟用後將持續帶動人才、技術雙向交流。

考量目前全球有90%的AI晶片是在台灣生產，大部分又在南科製造，東京威力科創的台南營運中心於2022年底動工，今天完工啟用，將可就近服務客戶。張天豪說，結合新竹研發中心、竹東訓練中心及台南營運中心，將持續在台灣投入技術、人才及供應鏈三大領域扎根。

張天豪受訪表示，台日交流近年確實更為頻繁。他7月初去熊本時，當地飯店一房難求，到市區的交通也很壅塞，東京威力科創前去支援的人力比過去增加很多。在台灣部分，東京威力科創常駐的日本人員有逾百人，另有TEL員工自日本來台與客戶交流。

張天豪表示，台灣與日本在技術、產業交流非常緊密，台灣在半導體產業的前段製造、後段封裝有明顯的優勢，搭配日本的設備、關鍵材料，可以讓亞洲地區再壯大發展，加速產業發展動能，這當中TEL可以作為橋梁。

TEL（Tokyo Electron Limited）創立於1963年，至今滿61年，1996年來台投資，東京威力科創在新竹科學園區設立總部和研發中心，並在竹東打造訓練中心，在林口、新竹、豐原、台中和台南也有辦公室。

張天豪說，TEL在台灣和日本的技術、人才交流是雙向且同步的，不是日本發展完成後才轉移到台灣。他強調，「台灣不是追隨者」，竹科的研發中心發展新的技術，有2奈米和1奈米製程，同時與日本連線。

張天豪說，竹東訓練中心內設置了與全球同步甚至更先進的設備，除了TEL全球市占率近100%的極紫外光（EUV）塗布顯影機，還有晶片洗淨系統和薄膜設備等，包括員工、客戶及美國工程師都要前來訓練，一年可以訓練超過3000人次。

張天豪表示，訓練中心的設備都是現在工廠要用的最新機種，陸續還會再送來新設備，「TEL在台灣不是只來賺錢，是來這裡發展技術和人才」。

張天豪說，未來東京威力科創在台灣的擴充，不會單純以台灣營運為基礎考量，而是著眼於TEL在全球的成長，包括研發中心的無塵室空間會持續擴充，擴大研發能量，也會策略性培養更多人才，加強工程師的技術和語言能力，希望成為TEL的重要人才庫，跟著客戶一起走向全球營運。

張天豪說，TEL的半導體設備完整覆蓋薄膜、蝕刻、塗布顯影、晶片洗淨等半導體生產最重要的4大領域；每台極紫外光（EUV）機台前面一定會連結上TEL的塗布顯影機，才能夠達到完整的效果。TEL的EUV塗布顯影機在全球市占率將近100%，其他包括蝕刻、沉積和清洗設備，也多位居全球第1或第2的領先地位。

張天豪表示，根據調查，到2030年半導體產值將會翻倍至1兆美元。面對龐大市場需求，TEL計劃未來5年內將斥資1.5兆日圓（約逾新台幣3000億元）投入研發，持續推動先進封裝、邏輯運算及高頻寬記憶體製造技術。（編輯：張良知、林淑媛）1131203