台智SWIM全系列 高精度

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工商時報【台中訊】

台智精密科技推出奈米深度3D形狀顯微檢測儀手動/電動全系列SWIM全系列,該系列掃描白光干涉顯微檢測儀結合台智公司相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析。

SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀具優異的測量能力,可在幾秒內可完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測的速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡。

台智公司表示,該系列掃描白光干涉顯微檢測儀不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析。

此外,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,而且不需使用電子束或雷射,開機快且安全,維護成本亦低。SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5um(50X物鏡)的量測能力,最高達12um/s的垂直掃描速度,無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如:石英),只要超過1%以上的反射率就能夠被檢測。

SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測。SWIM系列顯微檢測儀應用領域包含有:觸控面板、太陽能板、晶圓、光碟/硬碟、微機電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、精密微機械元件或模具以及其它材料分析與元件微表面研究。洽詢電話:(04)2359-2289。

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