德國TRUMPF 雷射應用領導者

楊智強
中時電子報

工商時報【楊智強】

國際半導體大廠積極跨入極紫外光(EUV)微影世代,將在2018年掀起熱潮,德國TRUMPF集團全球完整的雷射光源技術,已於EUV領域協助半導體產業持續升級,並站穩雷射應用技術領導者地位。

隨著雷射微加工的快速發展,今年SEMICON Taiwan展會中,德商台灣創浦(TRUMPF Taiwan)將展出最新Dira系列雷射(scientific laser)與全球熱銷的TruMicro系列雷射,提供雷射微加工領域(microprocessing)的應用方案,透過可靠的工業級皮秒(Pico-second)與飛秒(Femto-second)雷射-超短脈衝雷射150瓦平均功率與500微焦耳的脈衝能量,滿足半導體業對品質、產能及性價比的要求。另介紹雷射金屬3D列印設備TruPrint 1000系列,積層製造複雜的金屬構件。

台灣創浦總經理鄭勇志表示,台灣擁有全球領先的半導體產業鏈,在完整的產業架構下,TRUMPF將持續為高科技業導入最新雷射技術,強化台灣國際競爭力。TruMicro 7370系列高功率UV雷射,已持續協助面板業汰換高成本的laser lift-off製程。隨著矽晶圓越來越薄,切割變得越來越困難,TruMicro 5000系列雷射可以非接觸處理矽晶圓,在切割邊緣上降低材料損耗。此外,台灣創浦也與工研院密切合作,為台灣雷射產業發展盡一份心力。

成立於1923年的德國創浦集團,全球約有一萬兩千名員工,每年維持穩定成長,最新財務年度達到近31億歐元營業額,台灣創浦是集團旗下50多個子公司之一,創浦集團持續投資技術創新,產品廣泛應用於Semicon、FPD、Mobile與Automotive產業,以在地化服務滿足雷射技術的各式需求。

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