志聖 推半導體恆溫式烤箱

工商時報【記者龍益雲╱桃園報導】 SEMICON Taiwan 2日至4日在台北市南港世貿展覽館登場,志聖工業(2467)主打全新開發完成的半導體恆溫式無塵烤箱產品,並強調已在國內某半導體大廠完成裝機、認證中。 志聖表示,SEMICON Taiwan是國際半導體產業協會(SEMI)所舉辦,這次參展包括半導體恆溫式無塵、自動化真空、自動化無塵無氧等烤箱產品,其中恆溫式無塵烤箱可用於晶圓(Wafer)的去水及封膠後烘乾,產能除是業界常用昇降溫式烤箱的4倍,每年可為客戶減少製程中氮氣耗氣量50%、耗電量60%,整體節能效益逾50%。