亞智推Manz黃光Track Line解決方案

工商時報【台北訊】 濕製程生產領導設備商Manz亞智科技推出Manz 黃光Track Line解決方案，以自主研發的電腦整合製造中央管理系統（CIM）及軟硬體整合實力，實現即時監控、即時反饋，提升製程良率及降低生產變異性、成本上成效卓著，成為大中華區第一家可提供黃光Track Line解決方案的廠商。 Manz亞智科技總經理林峻生表示，目前許多大廠正積極布局新世代面板廠，面板廠的投資有高達約60％的固定成本都投入在設備購買上，但關鍵的製程設備特別是黃光Track Line相關技術及設備皆掌握在日本設備商手上，在過往數十年無國內設備商可與其競爭，使得採購選項備受限制。 該Manz 黃光Track Line解決方案包括洗淨設備、精密塗佈設備、顯影設備以及自動化軟硬體整合系統。黃光微影製程中，光阻塗佈的均勻性與耗用量是影響製程的重要關鍵，在Manz 黃光Track Line解決方案中的精密塗佈設備採狹縫式塗佈，可對應從2CPS到50000CPS的各種黏度之光阻材料，將塗佈壓力的穩定度控制在0.15lpa以內，有效將光阻膜厚的均勻度控制在≦2.5％，大幅提升面板的良率及生產成本。 此外，Manz黃光Track Line解決方案全線搭配自行研發且獨步業界的CIM系統，能提供一站式服務，從設備硬體的採購到軟體的整合，為面板製造商節省原先需另外尋找CIM系統的時間以及溝通成本，還可將各單元的製程參數、生產條件、生產履歷等資訊與客戶的CIM網路作連結，完整地將資料上傳至客戶端HOST電腦，即時監控以找出缺陷原因及預防缺陷發生，並提供工廠管理所需的各樣報表，實時掌握工廠的生產狀況，對於製程良率及稼動率的提升及生產變異性及成本的降低都能獲得可觀地改善。