Yahoo奇摩新聞 半導體需要水！ 台積電.英特爾沙漠建廠各出招
美國 / 徐郁潔 邱榮慶 報導
半導體製程需要大量用水，但晶圓代工龍頭台積電，先前選擇位在沙漠的亞利桑那州設廠，因應缺水挑戰，台積電建造了一套廢水處理以及水資源回收系統，提升水資源使用效率。另外，美國半導體大廠英特爾，同樣在亞利桑那州設廠，也不斷提升廢水處理技術，降低用水量，解決晶圓廠用水問題。
晶圓代工龍頭台積電，前年設廠美國亞利桑那州鳳凰城，要量產4奈米製程，但面臨當地缺水挑戰，台積電也早就想好對策。半導體專家柴煥欣說：「台積電除了使用的是工業廢水，經過過濾循環再利用，增加循環的次數來充分地使用水資源。」
鳳凰城的供水，近6成來自鹽河和佛得角河，4成來自科羅拉多河，還有地下水能使用，台積電更依照排放水潔淨程度分級，最純淨的水再利用於生產製程，透過回收處理取得的次級用水，則用在無塵室空氣洗滌，或冷卻水塔等用途。
英特爾官方影片說：「占地4.8公頃的廢水處理廠，每天將處理910萬加侖的廢水。」不只台積電美國半導體大廠英特爾，也在當地設置晶圓廠，英特爾在晶圓廠中製造的廢水，都會先送到廢水處理廠，消除廢水中的鹽水，其中一個占地約4.8公頃的廢水處理廠，會將處理後的廢水約20%送回英特爾廠區內再利用，80%送給市府做為民間灌溉用途，更預計2030年能達到100%水資源循環利用。
半導體專家柴煥欣說：「未來如果發生氣候變異這種狀況，而發生非常嚴重的旱災的話，恐怕才是水資源運用的重大挑戰。」晶圓廠不僅僅是吃電怪獸，更是用水怪獸，也讓晶圓大廠如何善用水資源，成了一大課題。
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