台積電研發六騎士 林本堅浸潤式微影技術翻轉半導體 (圖)

清大半導體學院院長林本堅,是20年前開發浸潤式微影技術關鍵人物,與蔣尚義、梁孟松等人被譽稱為台積電「研發六騎士」。

中央社記者謝佳璋攝 111年9月11日