國研院研發服務平台成果獎 使用先進半導體製造服務獲特優

為表彰產官學研各界使用國家實驗研究院的研發服務平台做出頂尖的科研成果，第二屆「研發服務平台亮點成果獎」今天(30號)舉行頒獎典禮，今年特優獎由臺北科技大學電子工程學系胡心卉教授整合陽明交通大學、成功大學共同組成的研究團隊，獲得獎金新臺幣30萬元。

胡心卉教授整合的團隊研究成果為「異質氧化銦鎵鋅/矽互補式場效電晶體之積層型三維整合於靜態隨機存取記憶體與射頻之應用」，所使用國研院的研發服務平臺是臺灣半導體研究中心(半導體中心)的「先進半導體製造與高頻量測技術服務」。

胡心卉教授表示，特優獎團隊使用半導體中心所提供的無塵室設備與研發平台，製作出新穎之上下異質疊層的異質通道垂直堆疊互補式電晶體(CFET)，並將其應用在反相器與6T靜態隨機存取記憶體(SRAM)。這項成果展現能將不同通道材料及多種功能元件，以一體化製程整合在同一基板上，完全實現未來對於系統整合型面板的需求。

國家實驗研究院林博文副院長表示，國研院以追求全球頂尖、開創在地價值為願景，在國科會支持與指導下，建立各種研發服務平台，希望能夠協助學研界開發出頂尖的科研成果，第二屆「研發服務平台亮點成果獎」，也是希望藉由徵選，鼓勵國內學研界能更踴躍與國研院合作，在使用以國家力量建構的研發服務平台，做出具有競爭力的研發成果。

國科會轄下財團法人國家實驗研究院(國研院)的主要使命，是配合國科會推動全國科學技術發展，以「建構研發平台、支援學術研究、推動前瞻科技、培育科技人才」四大任務，促成科學創新及技術突破，同時也提供各種專業的研發服務平臺，協助學研界研發尖端科學與技術。