突圍美禁令 華為拚5奈米晶片

繼去年8月底推出的Mate 60 Pro旗艦手機震撼市場後,中國資通訊大廠華為技術突破再傳新動向。消息指出,華為攜手晶片生產夥伴申請專利,涉及自對準四重成像技術(SAQP),可望在減少對曝光機依賴的情況下,力拚生產出5奈米先進晶片。

綜合外媒23日報導,面對荷蘭政府的出口禁令,荷蘭曝光機巨頭艾司摩爾(ASML)被禁止向中國出售高端晶片製造設備。華為最新向中國知識產權局提交的文件22日曝光,其中的四重成像技術是在矽片上多次蝕刻線路,以提高晶體管密度,進而增強性能的技術。

報導指出,中國晶片製造設備開發商新凱來在2023年底獲得SAQP相關專利,透過採用深紫外曝光(DUV)晶片製造設備和SAQP技術,達到5奈米製程晶片的部分技術標準,此項技術可使華為在遭禁止使用EUV設備的同時,降低製造成本。

儘管中國企業持續就高端晶片國產化積極突圍,但目前全球投入商業生產的最先進晶片採用3奈米製程,而中國現有技術只能生產7奈米晶片,較3奈米落後兩代。如果華為為首的企業生產技術進一步發展至5奈米製程,相當於僅落後全球業內領先者一代,但是晶片成本可能高於業內標準。

研究公司TechInsights副董事長Dan Hutcheson指出,四重成像技術足以讓中國製造5奈米晶片,但長遠來看,中國仍需要借助極紫外光微影(EUV)設備,四重成像技術雖可緩解部分問題,但尚無法完全克服沒有EUV情況下的技術障礙。

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