美要掐住中國晶片業致命點 施壓ASML停賣DUV機台給中國

知情人士透露，美國正向荷蘭施壓，要求禁止晶片設備製造商艾司摩爾（ASML）向中國出售生產全球大量晶片所需的主流技術。此舉反映美國擴大抑制中國崛起的行動。

華盛頓當局提議的禁售措施，將使現有向中國出售最先進設備的限制範圍進一步擴大，試圖挫敗中國成為全球晶片生產大國的計畫。如果荷蘭政府同意，目前禁止銷往中國的晶片製造設備範圍和類別將大幅拓寬，可能嚴重打擊中芯國際和華虹半導體等中國晶片製造業者。

知情人士說，美國官員正在游說荷蘭當局禁止ASML出售成熟製程所需的深紫外光（DUV）微影機台。這類設備所用於的晶片製程技術比先進技術落後，但仍是製造汽車、手機、電腦乃至機器人所需的成熟製程晶片最常用的設備。

消息拖累ASML的美國存託憑證（ADR）價格5日收盤下跌3.8%至每股432.4美元，盤中一度重挫超過8%，為2020年3月來最大盤中跌幅。

知情人士說，美國聚焦推動荷蘭禁止出售最先進類型的DUV技術「浸潤式微影設備」賣給中國。此外，美國官員也試圖施壓日本停止銷售同樣的技術給中國晶片製造業者。日本尼康（Nikon）公司在這個領域與ASＭL競爭。

浸潤式微影技術也稱氟化氬浸潤（簡稱 ArFi）。根據中國方正證券的資料，ASML在2021年銷售81台浸潤式微影設備，相較於Nikon的4台，因此ASML的市占高達95%。

知情人士說，美國商務部副部長格雷夫斯（Don Graves）5月底到6月初出訪荷蘭和比利時討論供應鏈問題時，提出了這一要求。當時他還參訪ASML位於荷蘭費爾德霍溫的總部，並會見ASML執行長溫彼得（Peter Wennink）。

知情人士說，荷蘭政府尚未同意額外限制ASML向中國晶片製造商出口設備，因為此舉可能傷害荷蘭與中國的貿易關係。目前，ASML已經無法把最先進、每台售價約1.6億歐元（1.64億美元）的極紫外光（EUV）微影設備銷往中國，原因是無法從荷蘭政府取得出口許可。

美國商務部和荷蘭外交部不予置評。Nikon發言人則表示，對此議題無可奉告。

ASML發言人說：「討論並不是新的。尚未作出任何決定，我們不希望對傳言加以臆測或評論。」

荷蘭首相呂特6月時表示他反對重新考量與中國的貿易關係，呼籲歐盟發展自身對北京的政策。中國是荷蘭第三大貿易夥伴，僅次於德國與比利時。

溫彼得今年稍早表示，ASML反對禁止把DUV微影設備賣給中國，主張這已是個成熟技術。ASML對中國晶片廠（包含國內外企業所營運晶片廠）的銷售，占去年總營收的14.7%。

台經院分析師Johnson Wang表示：「對於半導體製造來說，微影設備是中國最難取得替代的設備。若無法取得國外的DUV微影設備，中國晶片產業的進展可能中止。」

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