美、荷聯手打擊中國半導體業 舊型曝光機和零件也將有出口限制

在美國推動下,荷蘭今夏將限制製造先進晶片所需的曝光機出口至中國,最快今天(6/30)宣布措施。路透社獨家報導,預計在荷蘭出手後,美國可能在7月下旬再公布新規定,禁止一些較舊的曝光機機型輸往中國約6家半導體廠,甚至一些美製零件也會被禁。

路透社29日報導,荷蘭政府預計最快於當地時間30日宣布新法規,限制荷蘭半導體設備龍頭艾司摩爾(ASML)第二先進的浸潤式深紫外光曝光機(DUV)出口至中國,若要出口則必須先申請許可證。至於最先進的極紫外光曝光機(EUV)已於今年3月禁止出口給中國。

據彭博新聞先前報導,荷蘭打算限制的浸潤式DUV共3款,為TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i和NXT:2100i。

荷蘭政府可能不會直接指名艾司摩爾,但新法規目的就是限制其產品輸中。擁有原子層沉積技術(ALD)的ASM國際( ASM International)也可能受到新規定的打擊。

美國7月再出手,鎖定中國6家半導體公司

數名消息人士說,荷蘭的新規定不會立刻生效;其中一人表示,預計生效日是9月。而美國預計會利用自身影響力,防止更多荷蘭廠商的半導體製造設備輸往中國;艾司摩爾產品內含美製零件,因此會受美國法規影響。

消息人士指出,美方的新規定可能於7月下旬公布,限制一些較舊的曝光機型號出口至中國,例如NXT:1980Di ,甚至一些美製零件也在限制範圍內。美國將要求各企業必須先申請許可,才可向特定的6間中國半導體公司出口上述設備,而且申請很可能被拒絕。

路透社報導沒有列出哪6家中國半導體公司會受影響,但指出「包含中國最大晶片製造商中芯國際」。

此外,消息人士還透露,美國還預計在7月更新去年10月推出的規定。當時美國以國安為由,對科林研發(Lam Research)、應材(Applied Materials)等美企實施出口限制,並開始遊說其他主要設備商國家採取類似措施。

擁有尼康(Nikon)和東京威力科創(Tokyo Electron,又稱東京電子 )的日本,已宣布將限制23種半導體設備的出口,7月23日生效。

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