躋身半導體除污標配！ 首家「綠能環保股」，華懋如何穩拿7成高市占？

台灣首家上市的「綠能環保股」華懋科技，自今年11月掛牌以來股價翻倍上漲，顯見市場對這家資本額僅3.5億元台幣，手中卻握半導體大廠、面板廠訂單的小台廠，信心滿滿。

華懋為半導體廢氣回收設備製造商，不僅幫大廠做零廢，近年更積極開發再生商品。董事長鄭石治是冷氣師傅出身，為相關技術的科班生。起初，華懋以代理日商西部技研的冰水主機、節能空調設備為主，直到1996年才開始啟動轉型，投入廢氣回收設備研發。

鄭石治曾在接受媒體採訪時回憶，當時半導體正蓬勃發展，政府同時在草擬氣體污染防治法規。看準這個趨勢，華懋於是結合西部技研以及工研院專家學者，投入開發高科技廠的廢氣處理，搶占先機。

供應鏈指出：「現在要擴廠，華懋的廢氣設備已幾乎是標配。」主要原因在於當今的環保法規相當嚴格，想要24小時不間斷運轉廠區，就必須遵守相關規定，否則就必須停機，損失慘重。

獨占產鏈一條龍，苦練99％除廢訣竅

華懋是VOCs防治污染供應商。VOCs（Volatile Organic Compounds）為揮發性有機化合物的縮寫，包含液體和氣體。氣體部分主要來自於化學溶劑、汽車尾氣和燃燒的廢氣等等。英國環境署指出，由於VOCs氣體有可能結合其他污染物導致臭氧層被破壞並影響人體健康，因此排放量被高度管制。

而在半導體製程中，VOCs廢棄的產生主要來自於黃光、蝕刻、擴散以及化學研磨。這些過程要用到的化學品種類繁多，須透過設備來處理揮發的廢氣，才能排出零污染的乾淨氣體。

晶圓代工業者表示，在VOCs的整套設備中，沸石轉輪是處理的廢氣的第一站，「以前都只有用1個轉輪，但現在都會需要要用到2個。」目前華懋雙轉輪的去除效率幾乎高達99％，在台灣半導體VOCs設備的市占率高達7成，是名符其實的隱形冠軍。

看似簡單的工程，背後其實藏有不少開發細節。華懋能有今日的傲人成績，共有2項關鍵。

首先，由於不同客戶排放的廢氣成分和要求都不同，華懋已有能力針對不同客戶客製化開發每一套設備。鄭石治告訴媒體，華懋和國際大廠合作開發技術，「光是一個熱脹冷縮的模擬，我們就做了100多次。」顯見華懋在設備開發上下足苦工。

其次，華懋是台灣唯一擁有VOCs整套服務鏈的企業，包含前期設計、測試、施工和維運，對半導體廠來說風險可控，也相對容易維護品質。當前的研發團隊約有27人；另有24小時待命的維運團隊，規模落在約90人。

環保成產業大勢，下階段進攻EUV應用

研調機構QY Research預估，全球VOCs市場至2026年將成長至1.14億美元，指出在環保的共同趨勢下，預期交通運輸、工業製造和半導體產業應用的需求，未來幾年成長樂觀。

華懋還計畫切入微污染AMC（Airborne Molecular Contamination）市場，推出中空纖維來取代現有的拋棄式化學濾網，利用油氣吸附的原理來處理空氣中的微污染粒子，可重複利用。業內知情人士透露，該項產品將來有機會應用在EUV（極紫外光曝光機）機台。

此外，華懋還針對污染物氮氧化物的排放設備，以及二氧化碳吸附材料進行研發。這間從龍潭發跡的小廠，未來將循著台灣半導體擴產的趨勢，持續受到關注。

責任編輯：蘇柔瑋