默克於韓國安城揭幕旋塗式介電材料應用中心
默克宣布在韓國安城揭幕最先進的旋塗式介電材料(Spin-on-Dielectric, SOD)應用實驗室。為因應半導體產業中人工智慧蓬勃發展的趨勢,該應用中心將加速開發用於先進記憶體和邏輯晶片的SOD材料。
默克在薄膜技術領域結合了原子層沉積(ALD)、化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition, CVD)和旋塗式介電材料(SOD)的專業知識,賦予默克在產業生態系統中的獨特優勢。這些材料對於下一代DRAM和NAND Flash設備、高頻寬記憶體(High Bandwidth Memory, HBM)在人工智慧應用中的發展,以及先進邏輯晶片的研發至關重要。
默克電子科技事業體全球薄膜科技事業執行副總裁冉紓睿博士(Dr. Surésh Rajaraman)在祝賀致詞中表示,在默克,創新始終是我們的核心工作理念。這個新實驗室將作為開發尖端材料解決方案的樞紐,並使我們能更快地回應亞洲客戶群的多元需求,大幅提高靈活度和縮短交付時間,從而提升客戶的創新效率。此外,該中心也將推動高純度SOD材料在亞太地區的開發與穩定供應。
位於韓國的SOD應用中心具備先進的技術能力,用以測量和分析塗佈在二氧化矽(SiO2)薄膜上的SOD材料。
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