AI地震預警系統 晶圓廠最快15分鐘恢復產能

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(中央社記者蘇思云台北20日電)科技部今天展現2組學研新創成果,衛波科技研發「AI現地型地震預警系統」可在地震前5到25秒示警,降低晶圓廠精密設備損害,產線復歸時間可望從6到8小時縮短到15到30分鐘。

科技部「科研創業計畫」致力透過學界研究支持產業發展需求,科技部今天召開記者會,2組學研新創團隊展現成果,分別為衛波科技執行長林沛暘開發的「現地型AI智慧地震防災預警系統」,以及中山大學物理系講座教授張鼎張的「創新半導體缺陷消除技術」等服務。

林沛暘表示,過去擔任國研院地震中心研究員不斷鑽研地震相關研究,在科技部科研創業計畫輔導下,成立衛波科技,研發出業界首創的「AI現地型地震預警系統」與「結構監測自動化平台」,希望做到震前預警、震後監測、加速救災效率等。

林沛暘告訴中央社記者,地震預警的原理是先偵測速度較快抵達的P波,再來預測後續地震的大小。「AI現地型地震預警系統」可以提前5到25秒預警地震,同時完成自動化控制,降低廠商精密設備損害,目前台灣高鐵跟多家台灣高科技大廠採用,包含晶圓大廠、光罩廠還有顯示玻璃廠等。

在效益部分,林沛暘表示,晶圓廠客戶曾回饋提到,地震如果比較大,需要地震後把人員叫回來校正設備,產線復歸時間需6到8小時,但如果有預警系統後,加上程序可自動化,產線復歸時間可以縮短到15到30分鐘,為廠商省下不少成本;高鐵可以在地震前減速,也能減少出軌機率。

林沛暘指出,另一項「大樓結構監測系統」,可以在震後10到15分鐘內,提出建物結構安全評估報告,目前團隊也積極跟公部門合作,應用在社會住宅之中,希望也可以帶動一般住宅市場。

此外,張鼎張團隊獨家開發全新的低溫半導體製程技術與設備,改善過去常用的高溫退火爐管技術,利用低溫優點有效提升半導體元件的導通效率,可改善半導體元件可靠度與良率,該技術業已通過數家半導體暨光電大廠驗證。

科技部表示,這項獨特技術讓台灣在半導體上游產業鏈以及前端設備上占有領先優勢。團隊所成立的新創奈盾科技,更獲得日本第一大半導體設備大廠TEL東京威力及台灣光電大廠友達的青睞,順利取得二家國際級企業的天使投資。

科技部表示,科研創業計畫目標是協助學界具潛力的技術進行商業化,截至2021年底已有148件個案出場成立新創,向國內外投資人成功募資金額合計已超過新台幣67.9億元。(編輯:楊凱翔)1110420

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