先進製程滿滿綠金！「廢液救星」信紘科如何靠神水營收年增40％？

台積電去年在全球半導體賽局稱王，讓業界的先進封裝技術發展格外受關注，其中綠色製程業務逐漸擴大，台灣廠商信紘科也受惠，訂單能見度強勁成長。

走進信紘科的廠區，可以看到一台台準備出貨的機櫃，顏色有純白也有鐵櫃，分別是準備安裝機能水、化學品等不同液體的設備，從投入高科技業廠務供應系統整合的信紘科，近年轉型跨足綠色製程解決方案，提供製程機能水、製程特殊廢液處理，帶動業績起飛，2022年營收達24.67億元、年增40％。

廠務的角色，可以想像是蓋一個新家，需要找人安裝冷氣、冰箱與各種電器設備，以及配置管線。如同高科技業者在建廠前，會找來廠務供應商，協助設備、電控、現場管路進行整體規畫、設計、施工與維護。

每個廠都會有各自的廠務系統與廠務團隊，早期半導體客戶在建廠多是找外商提供統包式解決方案（Turnkey Solution），但隨著客戶建廠的增加，愈需要在地廠商的協助。

乘在地優勢起飛，助攻製程拚良率

信紘科便投入建立化學、研磨液、氣體供應系統與二次配拆移機服務，舉例來說，拉一個化學品管線，從A點到B點，台廠可協助設計最短路徑，從細節上做到成本優化。當外商不願多花心力投入時，便是在地廠商的機會，甚至透過在地優勢，快速回應調整參數、修改與測試等服務，助攻製程與良率的突破。

隨著半導體走向先進製程， 過去廠務的重點在安全與穩定，現在進階要求「預防」 ，例如某個閥件壞掉前，透過感應器偵測震動頻率的改變，信紘科開發出自動化控制系統設備，協助化學品供應商做製程監控，從填充、運送到包裝全自動化監測。「它（指半導體龍頭大廠）已經沒有教科書，找問題不知道怎麼找，因此全部流程就被攤開檢視。」信紘科營運一部協理龔楚喬說。

另一方面，半導體龍頭大廠在2010年預先看到，隨著未來10年建廠的增加，將產生巨量化學廢液的問題，加上環保法規加嚴的趨勢， 企業必須開始思考減水、減廢的議題。 此時，信紘科被客戶要求投入化學廢液回收與機能水設備開發，開始轉型綠色製程的設備供應商。

但做了近30年的廠務系統整合，信紘科又是如何跨入這個陌生領域？信紘科在2012年正式成立研發部門，找來具有化工背景的碩博士人才，接著成立分析實驗室，著重開發化學廢液處理技術。

當有人、有實驗室後，客戶開始丟題目給信紘科研究，一旦找出解決方法與流程後，就在廠區建立小型廢液處理系統試行。這對外商來說，在成本、問題都還不是明確下，不太可能貿然投入。

勤跑客戶甩陳見，綠色營收已破1成

DIGITIMES研究中心分析師余佩儒觀察，「很多解決方案都不是立刻就可以使用，需要先在場域做實驗測試，在地廠商相對具有優勢，透過在製程端的共創，一旦方案成熟後，就能擴大應用在其他產業。」

信紘科投入化學廢液回收，將硫酸廢液去除雙氧水，回到廠區再次使用；另外也投入廢有機溶劑再利用， 不僅每年可為客戶節省10％的清運處理費，也可減少約3千噸的二氧化碳排放， 協助客戶達到廢液活化再利用。

同時為了在製程上做到化學品使用減量，信紘科提供「製程機能水」解決方案。過去是化學品加上超純水就可以清洗晶圓，但是走到先進製程後，晶圓線距變小，加上化學藥品因分子較大，無法清洗乾淨。

信紘科所研發的機能水技術（為水加入二氧化碳），有助減少化學品的使用量。信紘科攜手化學品供應商，透過化學藥品搭配機能水，有助提高製程清洗效率。不同於過去做廠務系統，信紘科得先了解客戶的製程與使用的化學品等關鍵資訊，才能設計出符合需求的機能水，達到減量效果。

但過程也不是一路順遂，龔楚喬說，最大的挑戰在於破除刻板印象，過去客戶會認為做廠務的人無法解決製程端的問題，這時就要靠不斷地拜訪說明、送設備試用，「總會在你有需要的時候，會想到我。特別是客戶在發展先進製程遇到棘手問題時，在地人才與即時討論解決方法，成為在地供應商的優勢。」

一路長跑十年時間，綠色製程已貢獻超過1成營收， 主要客戶包含半導體、記憶體、面板等業者，透過持續拜訪、溝通，建立信任外，信紘科保持每年投入營收約3％的研發費用開發核心技術，協助客戶掌握綠色製程先機。

信紘科專攻高科技業廠務供應系統整合及綠色製程解決方案，現場工作人員正在為供酸設備進行組裝。

責任編輯：傅珮晴、謝宗穎

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