推動半導體 “原子層沉積聯合實驗室”成立

為了推動我國半導體產業發展，國家實驗研究院儀器科技研究中心成立「原子層沉積聯合實驗室」服務平台，今天(4號)正式揭牌，並與台積電簽訂合作協議，並邀請國內學界及供應商，包括清華大學、虎尾科大等與業者，共同聚焦於原子層沉積製程設備與材料開發，合作推動台灣半導體產業發展。這實驗室的建立也顯示儀科中心以累積已久的先進薄膜製程、真空儀器系統發展技術跨足台灣半導體產業的決心。