三星擬採用EUV技術 徐國晉:美光不跟進

The Central News Agency 中央通訊社
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(中央社記者張建中台北7日電)韓國廠商三星(Samsung)明年可能導入極紫外光(EUV)技術生產記憶體,美光(Micron)企業副總裁暨台灣美光董事長徐國晉表示,美光不打算跟進,目前並無採用EUV計畫。

市調機構集邦科技預期,明年動態隨機存取記憶體(DRAM)可能跨入EUV世代,將由三星搶先導入EUV技術,以提升成本結構與生產效率。

徐國晉今天出席美光智慧製造媒體團訪活動,他受訪時說,美光用目前的浸潤式設備,配合其他製程可以達到一樣的效果,並無採用EUV計畫。

至於美光在台灣布局,徐國晉表示,美光在台灣有2座前段晶圓廠,員工超過5000人,主要生產DRAM,在台中有後段封測廠及高階封裝研發,員工超過2000人,A3廠建廠符合進度,預計第4季完工。(編輯:張均懋)1091007