儀科中心展示自研成果 助國內半導體設備供應鏈在地化

國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心在國科會的政策引領及前瞻基礎建設計畫的支持下，全力投入半導體高階儀器設備及關鍵零組件自研自製，協助國內半導體設備供應鏈在地化發展，並於9月4到6日「臺灣國際半導體展」（SEMICON Taiwan 2024）中展現近期研發成果，並安排真空技術與光學領域專家到場與業界人士對談，了解產業需求及技術瓶頸。

國研院儀科中心表示，本次展會特別在9月6日舉行的「半導體先進檢測與計量論壇」發表儀科中心自行開發應用於次世代半導體設備之臨場檢測技術，介紹可整合多樣製程系統及薄膜檢測分析模組之叢集式臨場檢測系統，在不破真空的情況下達到連續製程與即時分析，減少樣品表面遭受大氣污染機率，可作為半導體新穎材料製程研發時的有力工具依據，提升製程良率與可靠度。

國研院儀科中心說明，配合國家政策支援科技發展，建構跨領域整合的儀器科技研發服務平台，以驅動儀器設備在地化為使命。希望透過展覽及技術對談交流，展示臺灣自主研發半導體儀器設備能量，吸引更多業界人士投入儀器設備產業，扭轉現今多為代工的半導體產業分布，厚植及深耕本土基礎儀器技術，以迎接半導體設備自主化時代。