先進製程猛吃電 晶圓廠大數據節能

輝達引領下，全球展開AI應用的強烈需求，預期台灣供應鏈近幾年將大吃AI紅利，但AI應用除了前後端耗電，在生產晶片時也需要龐大電力，甚至是綠電，尤其是先進製程需要半導體廠的EUV曝光機，讓相關供應鏈開始推動節電計畫。

2024年全球都在瘋AI，不過產業專家透露，目前在相關供應鏈的生產端並沒有太新的技術可以省電，企業都是透過各自的辦法去節電，或者擴增再生能源，以降低用電以及增加綠電比例。

其中聯電建立大量的數據收集感測器，透過工業4.0的大數據監控，即時掌控各廠、各設備的能耗，透過調整測試設備的運轉模式，降低用電，並評估是否加裝節能元件，並汰換掉耗能的設備。

此外，也會持續檢討能耗的數據，進一步挖掘節能潛力，期望以生產效率極大化、環境衝擊極小化的綠色營運模式，在2025年挑戰節電15％、節水15％、減少廢棄物25％的目標。

晶圓代工大廠台積電，同樣是台灣最大的用電戶，在2022年的永續報告書自行揭露電力消耗約210億度，占全台電力消費約7.5％，由於先進製程7nm以下需要使用EUV曝光設備，1台曝光機均日消耗約3萬度電，主要是EUV光源能源轉換效率極低，轉換率僅0.02％，若要生產先進製程晶片，耗電就成了必要之惡。

台積電也持續在節能措施著手，依製程技術定義5大節能團隊，全面推動生產機台以及廠務設備的各項節能措施，並透過大數據分析持續優化EUV機台參數，降低每片晶圓所需用電量，同時與供應商合作研究，挖掘EUV節能的可能性，在2022年成功降低EUV生產每片晶圓耗電量的22％，年省6000萬度電，在2022年節省了7億度電。

台積電在2018年啟動的新世代機台節能行動專案，截至2022年累計有195項節能方案應用在超過百種先進製程機台，結合跨廠導入節能措施，預期從2016年至2030年，新增的節能措施累計節能率將達到18％。