台積電曝EUV主要機台沒受損 美媒示警：強震後面臨考驗

昨日花蓮發生規模7.2地震，外媒高度關注是否對台灣護國神山台積電造成影響，台積電表示，部分廠區的少數設備受損，但所有極紫外（EUV）光刻設備等主要機台皆無受損。《華爾街日報》撰文指出，台積電坐落在世界上最大地震熱點之一的台灣，在昨日強震後將受到考驗。

報導指出，在此次地震中台積電是幸運的，因為其主要設施地點位在北、中、南部，與東部的震央距離相對較遠，這次台積電新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度為5級 ，台中和台南科學園區的最大震度4級。

雖然台積電工廠建築物完好無損，但用於製造半導體的設備和材料非常精密，也可能出現不太明顯的損壞。報導提到，矽晶片約為1個披薩大小的薄片，只要有一點點小缺陷，就可能無法使用被丟棄。

此外，即使半導體工廠短暫停工，但也可能對生產造成很大影響，而且重新啟動需要時間，有可能造成高達千萬美元的損失。

台積電則在官網上註明，從民國88年歷經921地震以來，即採用超越法規的標準做好防震管理措施，不僅在震後全面檢視所有廠房與設施，陸續裝設阻尼器補強廠房結構，同時更積極採用新的設備減震與隔震技術，以降低地震可能對營運帶來的風險。

工商時報報導，台積電昨日晚間發表聲明，在3日地震發生後僅10小時內，晶圓廠設備的復原率已超過70％，新建的晶圓廠（如晶圓十八廠）的復原率更已超過80％。台積電強調，雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產，主要機台包含所有極紫外（EUV）光刻設備皆無受損。

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