清華獲准成立半導體學院 浸潤式微影之父林本堅掌舵

清華大學與台積電、力積電等10家國內外頂尖高科技業合作的半導體研究學院計畫案獲行政院跨部會審議通過，預計今年8月成立，分為元件、設計、製程、材料4組招生。

清華大學校長賀陳弘表示，清華半導體學院的特色在於請來以浸潤式微影技術改寫全球半導體發展史的中研院院士林本堅領軍，並結合清華的跨領域科技優勢，將培育未來半導體領袖人才。攜手合作的企業包括台積電、力積電、環球晶圓、欣興電子、聯華電子、世界先進、聯詠科技、南亞科技等8家台灣公司，與東京威力、美光記憶體2家國際公司，企業承諾投入辦學的資金每年超過1億3千萬元，同時國家發展基金也將每年對等投入支持。

圖說：清華大學副校長陳信文（左起）、院長林本堅、校長賀陳弘、副院長邱博文提出半導體學院計畫書。右一為副教務長巫勇賢。

清華半導體學院將分為「元件技術、材料與物理」、「積體電路設計與應用」、「先進製程設備與封裝」、「電子材料與化學」4組招生，預計每年招收80名碩士生、20名博士生，規劃提供高額的獎學金，最快明年春季班就有學生入學。

林本堅訂出兼具「專才」、「通才」、「活才」的人才培育方針。他說明，學生首先選擇一項專業，如材料等深入鑽研，成為該領域的「專才」；要與團隊內的設計等其他領域專才溝通合作，必須具備半導體通識與跨領域對話能力，是為「通才」；半導體技術進步極快，經常出現意想不到的新問題，此時更需要的是能解決未知問題及開創新局的「活才」；具備以上三才，方能成功領導研究及工程部門。

圖說：清華半導體學院學生未來將可進入無塵室體驗、學習先進的製程技術。

一流的師資是培育人才關鍵。林本堅表示，由於企業投入及法規鬆綁，半導體學院得以用國際薪資水準來聘請大師，還將邀請業界菁英開設眾多0.5或1學分的微學分課程。現正積極延攬美國國家工程院院士及中央研究院院士等級的教授加入清華半導體學院師資陣容。

圖說：林本堅將出任清華大學第一任半導體學院院長。

林本堅曾在美國IBM的研究中心，帶領團隊創造出許多領先全球的技術。後在台積電力邀下回台，開始推動對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大的浸潤式微影技術，帶領團隊從130奈米、做到90奈米、65奈米、40奈米、28奈米、20奈米、16奈米，和10奈米，並開始研發7奈米、和5奈米。他從台積電卸任後，以作育英才為己任，自2016年起擔任清華大學特聘講座教授。

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