《科技》台積機台租賃 推動光阻在地化

【時報-台北電】隨著晶圓代工龍頭台積電產能擴張，原物料需求亦不斷成長，為確保製程關鍵材料之一的光阻穩定供應，台積電打造創新商業模式，將曝光機台以租賃方式，提供光阻供應商使用，降低其投資成本及提升來台設廠意願。

台積電評估，今年第四季建立「機台租賃平台」，活化廠內不同類型機台再利用價值，提供有需求的供應商使用。

台積電供應商去年成功設立全台第一座極紫外光（EUV）光阻生產工廠，截至今年4月，已產出超過千瓶EUV光阻劑，創造逾1億元商業價值，年產值更超過10億元，同時達到台積電資產活化再利用效益，落實產業共好。

台積電資訊技術及資材暨風險管理資深副總林錦坤表示，原物料供應商是台積電永續經營的重要夥伴，台積電透過創新的商業模式，開創光阻供應鏈在地化，共同打造台灣第一座EUV光阻工廠。

光阻是半導體微影製程的重要材料，因驗證其品質的曝光機台售價與保養費用高昂，使光阻供應商來台設廠進度難以推進。為解決光阻供應商投資成本過高問題，同時促進在地供應鏈發展，台積電資材供應鏈管理處攜手營運資源規劃處、Fab 12A廠，依產能需求全面盤點廠內機台資源，將曝光機台出租予光阻供應商，使其無須額外購買機台驗證光阻品質。

台積電於2020年成功邀請光阻供應商來台設廠，生產周期由28天縮短為17天，減少18％空運碳排放量，光阻在地化生產年產值更逾10億元，增加在地工作機會50人，有效降低進口供料風險與成本支出。(新聞來源 : 工商時報一涂志豪／台北報導)