半導體廢水處理 工研院拿國內專利申請冠軍

[NOWnews今日新聞] 高科技產業用水策略，隨著環保意識抬頭及產業升級日益受到重視。經濟部智慧局今（25）日發布「半導體製程設備廢水處理及再生技術之專利趨勢研究」，全球申請人及案件數中，工研院以45件拿下國內冠軍，列為全球第4。

根據統計，全球前20大專利申請，工研院以45件專利拿下國內第1；兆聯以17件成為我國專利申請亞軍；力積電則是國內申請案量第3名。

為何「護國神山」台積電並未榜上有名，據悉是因台積電在廢水處理往往選擇與其他較有實務經驗的單位合縱連橫，並不傾向於自身投入相關專利，但基於自身ESG要求，仍大量投資再生水及廢水處理設施。

智慧局表示，全球近60 年來，半導體產業「廢水回收及水資源再生」技術之專利申請量呈顯著上升後穩定發展之趨勢，大致上可分為5個階段，分別為萌芽期階段（1970~1997年）、發展期階段（1997~2011年）、發展趨緩、略為衰退階段（2012~2014年）、復甦、再發展階段（2015~2018）及飽和、穩定發展階段（2019~2023 年）。

其中，歐美、日本等先進國家擁有歷史悠久的大型電器、淨水設備或相關材料製造之企業，早在1970年就投入研發。

以全球前20大申請人來說，日本籍申請人占60%，皆為知名的大型跨國企業，至今專利申請量仍屬亮眼；中國大陸雖然在1997年才起步，然在其國家政策的鼓勵或補助下， 2005 年後相關技術之專利申請量呈現後來居上之姿。

台灣為半導體製造生產大國，發展模式主要由半導體大廠所主導，並與國內相關企業或學研機構共同合作研發相關技術，亦有不錯的成績。

廢水處理及水資源再生可分為「物理處理」、「化學處理」及「生物處理」等，其中以物理或化學處理之相關技術發展較早，投入機構或專利申請量都相對來得多，技術發展相對成熟，目前主流技術以逆滲透法、微／超／奈濾法及高級氧化法、混凝沉澱法或離子交換法為主。

在生物處理部分，主要係利用微生物的特性將廢水中的污染物降解並轉化成無害的物質，其具有可大規模且低成本處理廢水的特性，因此極具經濟價值，為全球各大相關產業研發的重點項目之一。

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