志尚 跨足製造系統統合

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工商時報【台北訊】

志尚儀器與交通大學蔡春進教授合作並獲得美國Dionex公司全力支援該公司的線上IC離子層析儀系統,並結合志尚儀器自行生產的多點採樣系統及ISO 17025認證實驗室的品管掌控,而推出最新一代的半導體AMC線上離子層析儀監測設備。

本設備於實驗室中曾以VICI公司滲透管所產生之HF氣體作為測試氣體,滲透速率為109ng/min±25%(30℃),每個平板的去離子水吸收液流量為1cc/min,採樣時間為15分鐘,氣體流量為5~10L/min。氣體由吸收液吸收後,利用IC離子層析儀進行吸收液的樣本濃度分析,並據以計算PPWD的吸收效率,實驗結果顯示若玻璃平板為光滑的平面玻璃,即使經塗敷TiO2再配合UV光照射,形成的水膜仍不均勻,氣體吸收效率因為部分乾掉表面的槽道效應而僅約為25%。若利用多孔玻璃平板塗敷TiO2再經UV光照射,結果發現其表面親水性佳、水膜均勻,當氣體流量為5L/min、7L/min和10L/min時氣體吸收效率分別為105.36%±9.06%、96.76%±1.57%和0.33%±4.63%,其實驗結果與理論吸收效率相符。

志尚儀器不僅代理相關歐美知名半導體及工安環保氣體偵測分析儀器,此外,也希望藉由相關ISO 17025實驗室的建立將志尚儀器從一個單純氣體分析儀器代理商提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商(Turn-Key Solution)。

因此近年為因應客戶的需求,除了原本的銷售儀器設備外,也成功開發出自製智慧型採樣系統(Model 2000 iTMS)及相關分析儀器設備,目前已獲得多家半導體廠商採購。此外,目前志尚儀器也已成功發展出一系列半導體暨工安環保相關儀器及設備,例如:攜帶/固定式煙道氣體冷凝採樣系統、製程/煙道分析儀、動態標準氣體稀釋系統、標準氣體產生器、製程或半導體專用多點採樣系統、固定式氣體偵測系統等,因此目前志尚儀器可以說是唯一具備且可以由儀器諮詢→儀器銷售→系統整合→分析校正服務→儀器租賃提供客戶AMC完整治標暨治本的解決方案。

目前志尚儀器所代理的產品,基本上分為半導體相關儀器設備及工安環保監測儀器兩個部門。以半導體相關儀器設備而言,主要代理有Environics USA的IMS/GC系統(離子電泳光譜分析儀)、美國Picarro公司的CRDS氣體分析儀、美國Extrel公司線上型質譜儀(RGA Analyzer/Bulk Gases/VOC)、美國1st Detect公司的Portable/Mobil/Fixed IonTrap MS Detector、西班牙SIR公司的SO2-TS-H2S暨NH3-NO-NOx分析儀、美國Ametek-Trace Analytical公司的Bulk Gases Analyzer以及美國Donaldson公司所生產的各類型用於Photo/ Etching/Diffusion等製程機台以及廠務FFU/MAU上過濾不同Base/Acid/Organic Gases的低風阻Chemical Filter,日前更針對廠務的儀用空氣及氮氣管線提供POU(Point Of Use Filter)過濾器,目前不僅國外各大半導體廠廣為使用,台灣地區更已有約90%半導體工廠使用運轉中,中國大陸部分亦有約95%的客戶使用中。日前更新代理美國Illinois公司微氧氣體分析儀。

在工安環保監測儀器部門,目前主要代理歐美相關廠家各類攜帶式與固定式氣體偵測器,例如:美國AVIR公司最新開徑式多種氣體分析儀、德國AirSense毒性氣體偵測系統及 Passive FTIR系統、美國DOD Technologies公司ChemLogic色帶式分析儀/FTIR系統、歐洲大廠Honeywell Sieger& Lumidor相關氣體偵測器、西班牙SIR大氣環境監測系統、MA 廠牌NDIR/NDUV氣體分析儀、加拿大GAS線上分析儀、美國 Ametek Trace Analytical公司RGA/BULK Gases分析儀、美國 AP BUCK個人氣體採樣及校正系統、世界唯一乾式氣體流量校正器-美國BIOS公司及美國ATI公司毒性氣體偵測系統以及其他廠家,而使用廠家更是遍及各大半導體廠及公民營事業機構。

今年除了美國Doandlson公司發表最新技術的ChemCore Filter,該Filter不僅適用於半導體產業上的各類機台或是FFU或是MAU上,以濾除相關酸性或是鹼性氣體,其特點除了有低風壓阻抗、高過濾效率、超長壽命、全部材質採可自然分解材質、低價位等優點。

此外,Donaldson公司為了提供12吋廠Stepper/Scanner Lens的最佳保護,更提供針對廠務的儀用空氣及氮氣管線提供不同種類的POU Filter(Point Of Use Filter)及最新的以BSMmax為濾材的LG-12系統;美國 Extrel公司也將提供線上監測型質譜儀並與工研院合作進行相關半導體廠VOC方面的研究,尤其是針對HMDSO/TMS等容易造成曝光機鏡面(Lens)Coating的研究;此外,美國Picarro公司亦以CRDS(光腔衰盪光譜分析)原理提供ppt等級的Ammonia/HF Analyzer;而西班牙SIR公司及英國Ion science公司也將展出相關的SO2-TS-H2S & NH3-NO-NOx分析儀及攜帶式VOC分析儀,歡迎大家蒞臨會場指教。此次也展出美國DOD Technologies公司所生產的ChemLogic色帶式分析儀,該公司所生產的單點(CL-1)、8點(CL-8)、96點(CL-96)相關分析儀較傳統半導體廠所使用的色帶式分析儀提供您下列新增功能,增加一組LED Reference Diode,可自動校調光源強度、特殊光纖光束(Optic Fiber)設計以避免樣品被外氣稀釋、無電磁閥(No Valves)設計節省更換經費及增加MBTF、色帶使用可長達4個月,節省Tape更換時間及經費。另外,DOD Technologies並提供您相關CM-4&System 16&Vertex系列的替代性色帶,不僅是您最佳的Second Source選擇,更能節省經費支出。

如同文前提到,目前志尚更已成功發展出自行設計之採樣系統(Model 2000 iTMS),可依客戶需求連接敝公司所代理之產品或是任何分析儀器。而志尚產品優點:1.微控制及圖控系統由台灣自行設計避免未來維修及升級問題。2.累積20年微污染氣體分析儀之經驗,採樣系統可搭配各類型分析儀。3.所有閥件及與氣體接觸部份均採PFA或PTFE材質,避免樣品被污染。4.內部所有管線均採PTFE材質(因部分PFA 材質會產生微量的Ammonia氣體。5.Rotary Valves設計(內含Fast Loop設計)可有效減少採樣系統體積。

志尚儀器所獲ISO 17025認證的微污染分析實驗室,主要就是考量以往在半導體微污染分析的領域,往往由於採樣或分析的手法不同,造成對分析結果有所疑惑。而志尚儀器微污染氣體分析實驗室(AMC Lab.)的成立,就是希望能提供半導體相關客戶一個可靠的採樣分析實驗室。志尚儀器的微污染氣體分析實驗室是根據相關SEMI的標準,並依據EPA或NIOSH的採樣或分析方法提供有關半導體業常見的鹼性(Ammonia/Amines)或酸性(氟/氯/溴離子、硫酸/亞硫酸根離子、硝酸/亞硝酸根離子等)氣體ppt到ppb的分析範圍服務。

此外,該實驗室也結合志尚儀器另外兩個ISO17025實驗室(氣體流率及氣體偵測器校正實驗室),更能確保在採樣時採樣系統流率的正確以及相關標準氣體的準確配置,以便提供客戶最佳的微污染氣體分析服務。加上公司所代理的SIR Model 5000氣體稀釋器及Kin-Tek Permeation氣體產生器可產生low ppb至ppm標準氣體濃度以測試採樣系統的吸附程度外,亦自行設計相關採樣設備並積極以通過ASML認證為目標,以便提供客戶更優質的服務。如需進一步的訊息,請洽志尚儀器免付費服務電話:0800-000-501。

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