美日荷聯手封殺設備出口反成助力？陸晶圓代工產業驚傳大變化

記者呂承哲／綜合報導

在美國號召下，美國、荷蘭以及日本政府今年完善了先進晶片以及半導體設備出口管制，明顯劍指大陸半導體產業，甚至荷蘭政府最新出口管制措施，要求出口深紫外光(DUV)微影設備要申請許可，這導致本來就遭到美國商務部列入實體清單的大陸晶圓代工龍頭中芯國際28奈米以下製程量產再度受到衝擊，但調研機構認為，此舉將激勵大陸半導體設備商加強研發力度，加上中芯國際主力產品也並非先進製程，預估長期發展來看，仍無法阻擋大陸半導體自主化進程。

大陸晶圓代工龍頭中芯國際。（圖／取自推特）

調研機構TrendForce日前發布一份研究報告指出，即使受到美日荷出口管制影響，大陸晶圓代工12吋晶圓約當產能仍由2024年的24%，2026年將來到26%，此外，若28/40奈米製程的半導體設備最終仍可以取得許可，預估2026年的比重將提高至28%，顯示大陸晶圓代工產業的成長規模仍不可小覷。

荷蘭政府的新規定也限制了單原子層沉積（ALD）技術設備出口，ALD 設備廠 ASM International也被列入管制名單。TrendForce指出，大陸晶圓代工產業進程目前還落在28、40、55奈米製程等成熟製程，目前的管制措施主要限制曝光、沉積、磊晶製程等半導體設備，有機會加速大陸半導體設備商發展進程，目前也都有本土廠商可以替代，最大的問題仍在於曝光機。

荷蘭半導體設備出口管制措施，雖然沒有明指，但顯然未來艾司摩爾(ASML)要持續供貨至大陸市場將受到限制，不過，根據艾司摩爾聲明，TWINSCAN NXT:2000i以及後續機型將受到影響，這也代表TWINSCAN NXT:1980Di仍有出貨至大陸的機會。艾司摩爾表示，目前沒有針對大陸市場推出特別版的DUV曝光機。

TrendForce表示，雖然45奈米以下製程的半導體設備將開始受到申請許可限制，但是預估28/45奈米製程等主流成熟製程設備還是能獲得出貨許可，但進入到1X奈米製程就會受到更為嚴格的限制，也就是說28奈米以下製程的擴產行動勢必遭到阻擋，中芯國際先前也在官網將14奈米製程拿下，但是就成熟製程發展來看，大陸晶圓代工產業不是遭完全封殺。中芯國際在2022年開始不再公布各製程營收貢獻，若從最後一份資料來看，40/45奈米、55/65奈米、0.15/0.18微米比重最高，總計約為7成，反而28奈米營收貢獻不到2成。

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