肥水不落外人田! 聯電回收廢液創造千萬營收

台北市 / 綜合報導

當晶圓製造大廠都還在搞懂規則時,聯華電子在2014年完成台灣第一筆環保署審查認可的碳權交易,不僅如此,聯電更逐步把半導體製造的廢棄物垃圾變黃金,2022年打造完成的硫酸銅回收系統,把回收回來的硫酸銅廢液,變成純度99.9的銅棒,不僅減少廢水,還為聯電每年創造約1300萬的綠色營收,今日Focus專題,帶您前進聯電南科園區,一窺聯電的永續方針。

走進聯電的南科廠區,這裡是主要的12吋晶圓製造廠,除了製程設備,也正積極的打造經濟循環的創生中心,聯電廠務暨擴建工程處長許書章說:「廠區裡面一個廢硫酸銅的處理系統,那會有10噸的廢液,在這個系統裡面做循環電解的部分。」難得曝光的硫酸銅回收區2022年才剛建置完畢,這裡是經濟循環的起點,如同鍊金術一般善用化學原理,要把廢水變黃金,聯電廠務暨擴建工程處長許書章說:「晶片的生產製造過程中,我們使用硫酸銅,在前段的金屬濺鍍的製程,要將銅濺鍍到晶片上,一年產出的廢硫酸銅將近有一千噸,那我們從去年開始建置了這一套,不同濃度不同方法然後電鍍的方式,可以產出純銅銅棒。」

肥水不落外人田,鮮藍色的硫酸銅廢水,從頂部流進儲存槽,接著要進入電解還原設備,主播雷雅說:「在我眼前這個藍色的儲存槽,裡頭存放的就是10公噸的硫酸銅廢水,在經過電鍍作用之後48個小時,可以產出48根的純銅,現在工作人員在做的就是,把銅給取出來,同時也為聯電創造新的綠色經濟。」廢水生銅的技術其實並不稀奇,但是聯電的獨特技術透過分流再製提濃循環,反覆經流的過程,一共100噸的廢水,能產出48根亮晶晶的純銅銅管,每根大約15公斤重,一年能夠產出50頓,讓原本一年要花上千萬,委外處理的1600噸硫酸銅廢液,變成能夠帶來1300萬的綠色經濟。

事實上聯電把廢水分成15種等級,不論是產線上的純水,還是製程當中加入化學劑量的廢水,根據特性、髒汙程度,進行處理回收再利用,主播雷雅說:「晶 圓 在製造的過程當中,需要大量的用水,而聯電把每一滴水都做回收,並且分成15個等級,那像是在我右手邊這個標示著,60%的回收水是比較乾淨的水,經過再處理之後可以回到製程端,那在我左手邊標示著,30%的回收水則是稍微髒一點的水,經過再製之後給予的就是冷卻水塔的水。」

整個聯電南科廠區,每一滴水都能用4次,一年能夠回收700萬噸的水,兼顧環保還能挺過枯水期的節水時刻,聯電廠務暨擴建工程處長許書章說:「傳統的造景盤,是我們南科12A P12的電力監控盤,那從161特高壓進到廠區裡面,各個Zone1到Zone7的不同電壓等級的部。」密密麻麻的控制面板,清楚知道工廠每一處用電情況,系統中心如同整個園區的大腦24小時監控,光是聯電一年就要用8億度的電,身為用電大戶,首要解決的就是吃電怪獸空調,整個空間至少擺滿20座冰水主機系統,這樣的空間在整個南科至少有6座。

聯電廠務暨擴建工程處長許書章說:「現場使用之後回水是19.6度,那這個冰水主機做熱交換之後,出水就會13度的冰水,那當然也有5度的冰水主機,不同的冰水做熱交換是效能最高的。」透過冰水循環系統降溫,讓整個南科和無塵室的空調能有效節能,加上全廠區設備採用高效能馬達,搭配智能運算系統,光是冰水主機系統,每年就可以省下電費4000萬,空壓機系統700萬元,最耗能的無塵室空調也有3百萬,但對聯電來說節能省電不只是向「錢」看,而是一種向「前」發展的進程。

聯電生產資源整合執行處長吳博文說:「我們跟國際大廠的合作,其實是非常密切的,包括是產品設備,這個趨勢是告訴我們說,要走 得 快我們就一個人走,我們要走 得 遠我們就必須一起走,那永續發展就是必須是,一起走的趨勢。」既然要與國際接軌,在製程端的每一項作業都要求永續,甚至連製程端上需要清洗晶片的清洗液,都盡可能做到不破壞環境,聯電處長說:「有些東西可以用檸檬酸來取代,最明顯的例子就是我們銅導線製程中,如果我們用強酸,把它改成檸檬酸了以後,我們達到清洗效能的最佳化,我們還可以減少70%的量,所以本來如果100公升,才能洗乾淨的東西,我們現在只要30公升就洗乾淨了。」

經過重新調配的清洗液,可以再減少80%廢水處理的費用,另一方面也投入大量的人力和資源,持續每年至少推出一件以上的綠色化學品,聯電生產資源整合執行處長吳博文說:「在2025年我們要做到25%的再生能源使用,2030年我們要做到50%,當然最後2050年我們要做到100%,我們第一階段就是要做到,我們把廢棄物轉成資源,這個是我們看得到的,所謂的經濟效益,看我們站在什麼樣的高度跟廣度來看這件事。」

除了淨零排放,聯電以零廢棄為目標,斥資18億要在南科打造,首座「循環經濟資源創生中心」,將半導體產出的廢棄物垃圾變黃金,創造每年1億元的綠色經濟效益,永續概念不只是單一的企業責任,也是另一種創造經濟的指標。

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