【半導體檢測大車拼2】鎖定埃米超先進製程 宜特科技透過技術授權率先卡位

半導體檢測廠商宜特科技本月正式啟動 APT(Atom Probe Tomography) 原子探針斷層掃描儀試片製備服務。這一突破性技術為半導體材料分析提供全新解決方案，特別針對A14製程（14埃米）等超先進製程，克服異質材料整合與立體化元件結構中的分析挑戰。

宜特表示，公司是台灣目前唯一接受台灣大學技術轉移並具備原子探針斷層掃描儀試片製備能力的第三方實驗室，隨著半導體元件尺寸縮小至奈米級與埃米級，穿透式電子顯微鏡（TEM）逐漸面臨成分分析空間解析度和濃度偵測極限的侷限，而APT的出現則為材料分析帶來全新視角。APT不受光學繞射極限限制，能在次奈米級解析度下，精確還原樣品的三維原子結構，並提供10 ppm等級的成分分析能力，成為解決半導體研發與良率控制問題的利器。

此外，宜特進一步表示，APT技術尤其適用於分析快速熱退火後的摻雜元素分布、立體化元件中的化學組成，以及異質材料整合的微觀結構問題。其高靈敏度和高空間解析度，使其成為晶圓代工大廠等全球領先半導體企業前瞻性研究的重要工具。

據了解，APT分析需要高度精密的試片製備技術，樣品需加工成針尖型，尖端曲率半徑小於100 nm，才能保證精準的場蒸發效果。透過與臺灣大學技術轉移暨合作，宜特科技開發出高效的試片製備技術，可應用於薄膜、FinFET半導體元件、MRAM元件及光電材料等。而這項技術的成功讓宜特成為台灣第一家具備APT試片製備能力的第三方實驗室，標誌著材料分析服務的全新里程碑。

特別值得一提的是，隨著新太空時代來臨、低軌衛星興起，相關產品的商業化測試驗證需求大增，宜特為協助有意投入此領域的國內外廠商進行太空環境驗測，提升產品競爭力，去年九月特別成立太空環境測試實驗室，提供從地面火箭發射到太空所需，包括震動、衝擊、熱真空、輻射等關鍵項目在內的各項環境與可靠度測試一站式解決方案，該實驗室去年底已正式啟用。為此，宜特科技董事長余維斌特別對外宣示，「宜特決心投入資源，建置亞洲最完整的第三方太空環境測試中心。」

宜特表示，展望2025，公司將聚焦 AI、高速運算、車用電子、太空環境測試、先進封裝與先進製程等高成長領域，強化技術創新與國際合作，持續為客戶創造價值，推動公司業績穩定成長。

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